Рощин В.М. Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: Часть 2 Издательство: Бином. Лаборатория знаний Жанр: Нанотехнологии Качество: Хорошее Страниц: 180 Формат: pdf, fb2, epub Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.