Зебрев Г.И. Физические основы кремниевой наноэлектроники: Учебное пособие для вузов Издательство: Бином. Лаборатория знаний Жанр: Нанотехнологии Качество: Хорошее Страниц: 240 Формат: pdf, fb2, epub Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».